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全球首條零碳排半導(dǎo)體潔凈車間投產(chǎn)

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臺積電南京工廠近日建成全球碳中和12英寸晶圓潔凈車間,通過國際ISO 14644-1:2025 Class 1認(rèn)證,單位產(chǎn)值能耗較傳統(tǒng)車間降低42%58。

?第二段?

項目采用三重能源方案:屋頂光伏(年發(fā)電180萬度)+地源熱泵(能效比5.8)+氫燃料電池備用系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)綠電供應(yīng)68。

?第三段?

創(chuàng)新性使用石墨烯氣凝膠墻體材料,導(dǎo)熱系數(shù)低至0.018W/(m·K),配合AI驅(qū)動的風(fēng)量動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng),年省電費(fèi)超2300萬元56。

?第四段?

實(shí)測數(shù)據(jù)顯示,5nm制程良品率提升1.2個百分點(diǎn),每片晶圓碳足跡減少3.2kg CO?當(dāng)量58。

?第五段?

該模式已列入工信部《綠色半導(dǎo)體工廠建設(shè)指南》,預(yù)計2026年前將在行業(yè)推廣50座同類車間614。


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