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?段?

臺積電南京工廠近日建成全球碳中和12英寸晶圓潔凈車間，通過國際ISO 14644-1:2025 Class 1認(rèn)證，單位產(chǎn)值能耗較傳統(tǒng)車間降低42%58。

?第二段?

項目采用三重能源方案：屋頂光伏（年發(fā)電180萬度）+地源熱泵（能效比5.8）+氫燃料電池備用系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)綠電供應(yīng)68。

?第三段?

創(chuàng)新性使用石墨烯氣凝膠墻體材料，導(dǎo)熱系數(shù)低至0.018W/(m·K)，配合AI驅(qū)動的風(fēng)量動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，年省電費(fèi)超2300萬元56。

?第四段?

實(shí)測數(shù)據(jù)顯示，5nm制程良品率提升1.2個百分點(diǎn)，每片晶圓碳足跡減少3.2kg CO?當(dāng)量58。

?第五段?

該模式已列入工信部《綠色半導(dǎo)體工廠建設(shè)指南》，預(yù)計2026年前將在行業(yè)推廣50座同類車間614。