無塵車間潔凈度等級標準ISO14644根據懸浮顆粒濃度的指標，劃分潔凈室（區(qū)）和相關控制環(huán)境中空氣無塵車間的潔凈度等級，僅考慮粒徑限值（低限）0.1um～0.5um范圍內累計分布的粒子群。根據粒徑，可分為常規(guī)粒子(0).1um～0.5um），超微粒子(0).1um）和宏粒子(>5.0um）。

空氣無塵車間潔凈度分級標準：ISO14644-1（國際標準）

空氣無塵車間潔凈度分級標準：GB/T16292-1996(中國標準)

無塵室等級說明

用戶在向供應商開放無塵室時，有以下提示。

一是等級定義模式如下：

ClassX(atYμm)

X是無塵室的等級，如100或100000等，Y是粒徑如0.2μm,0.5μm等等，可以重新選擇。這意味著用戶規(guī)定無塵室的顆粒含量必須滿足這個等級的限制。這可以減少爭端，以下是幾個例子：

Class1(0.1μm,0.2μm,0.5μm)

Class100(0.2μm,0.5μm)

Class100(0.1μm,0.2μm,0.5μm)

在Classes100(M3.5)andGreater(Class100，1000，10000...)，一般看一個粒徑。在那里。ClassesLessthan100(M3.5)(Class10，1...)，一般要看多少粒徑。

第二個技巧是規(guī)定無塵室的狀態(tài)，例如：

ClassX(atYμm)，At-rest

供應商非常清楚無塵室應該在At-rest狀態(tài)下驗收。

第三個技巧是自定微粒濃度上限，一般在As-built當無塵室非常干凈顆?？刂颇芰y試不容易，此時可以簡單壓低驗收上限，如：

Class10000(0.3μm<=10000)，As-built

Class10000(0.5μm<=1000)，As-built

這樣做的目的是確保無塵室在Operational狀態(tài)時，仍有足夠的顆?？刂颇芰Α?/p>