凈化車間材料為凈化車間墻,頂板一般為50mm厚夾芯彩鋼板制造,具有美觀、剛性強、保溫性能好、施工方便等特點?;⌒谓恰㈤T、窗框一般采用特殊氧化鋁型材制造地面可采用環(huán)氧自流板地板或先進耐磨塑料地板,有防靜電要求,可選擇防靜電型。
送回風(fēng)管道采用熱渡鋅板,具有良好的凈化保溫效果PF泡沫塑料板,美觀干凈,沖孔網(wǎng)板采用烤漆鋁板。
凈化車間的主要功能是控制產(chǎn)品(如硅芯片)接觸的大氣的清潔度和溫度和濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)和制造。這個空間我們稱之為凈化車間。按照國際慣例,無塵凈化水平主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂無塵不是沒有灰塵,而是控制在非常微量的單位上。當然,與我們常見的灰塵相比,本標準中符合粉塵標準的顆粒非常小,但對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,即使是一點灰塵也會產(chǎn)生很大的負面影響,因此無塵是光學(xué)結(jié)構(gòu)產(chǎn)品生產(chǎn)中不可避免的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的粉塵數(shù)量控制在3500以下,達到國際無塵標準A級。目前,芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對粉塵的要求高于A級,主要用于一些芯片生產(chǎn)。μm以下粉塵數(shù)量嚴格控制在每立方米1000以內(nèi),俗稱行業(yè)1K級別。
換氣次數(shù):1萬級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。
壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風(fēng)速:10級,100級0級.3-0.5m/s;
溫度冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃。
濕度45-65%;GMP粉末車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高,以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB(A);
新風(fēng)補充量為總送風(fēng)量的10%-30%;
照度300LX
氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表冷段→中效凈化→風(fēng)機送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆?!仫L(fēng)百葉窗→重復(fù)上述過程的初始凈化可以達到凈化的目的。