半導(dǎo)體凈化車間的設(shè)計(jì)思路和注意事項(xiàng)

1、半導(dǎo)體凈化無塵車間內(nèi)部要保證塵埃微粒只出不進(jìn)，所以凈化車間室內(nèi)要保持在一個(gè)大于大氣壓的環(huán)境中。此項(xiàng)要求將經(jīng)過凈化設(shè)備的空氣源源不斷地通過大型鼓風(fēng)機(jī)注入青島凈化工程車間。

2、為保持恒溫恒濕，空調(diào)設(shè)備必須與上述鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)配合使用。吹風(fēng)機(jī)多長時(shí)間加壓，空調(diào)器必須開多久。

3、所有凈化設(shè)備的氣流方向都是由上向下為主，因此，無塵凈化車間內(nèi)空間的設(shè)計(jì)或臺(tái)面擺放應(yīng)避免突兀，使塵埃、細(xì)菌等在無塵凈化車間內(nèi)回旋停滯的機(jī)會(huì)與時(shí)間減至程度。

4、半導(dǎo)體無塵車間所有獲得的氣源，包括吹干晶圓和機(jī)臺(tái)空壓所需的，都必須使用氮?dú)?98%)，吹干晶圓所需的氮?dú)馍踔粮呒兊?9.8%以上。

青島凈化工程有限公司在半導(dǎo)體無塵車間建設(shè)過程中，除了主體結(jié)構(gòu)的施工以及上述幾個(gè)重點(diǎn)難點(diǎn)外，還有潔凈建筑裝飾工程、凈化空調(diào)系統(tǒng)及其風(fēng)管、過濾器的施工安裝、高純水系統(tǒng)及其管線的安裝、高純氣體系統(tǒng)(含特種氣體等)的安裝、真空系統(tǒng)及其管道的安裝、化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)及其管道的安裝、各種排風(fēng)和排氣系統(tǒng)及其處理設(shè)備的安裝、消防安全報(bào)警系統(tǒng)及其控制設(shè)備的安裝、變配電、電氣系統(tǒng)及其橋架、配管配線的安裝、照明系統(tǒng)及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、各種通風(fēng)系統(tǒng)和管道的安裝、消防安全報(bào)警系統(tǒng)及其控制設(shè)備的安裝、配電線路的安裝、照明系統(tǒng)及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產(chǎn)工藝設(shè)備及其配管配線的安裝等。

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